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說明：為提供更優質服務，台灣半導體研究中心（以下簡稱本中心）進行新舊電子束直寫系統汰換，公告事項如下:

• 本中心新購置可變形束電子束光罩製作曝光機一台，將於114年第二季到廠安裝，以接續原有CF-L02W Leica e-beam電子束直寫系統服務，提供更好的服務品質。
• 為配合新、舊設備整建時程，CF-L02W Leica e-beam電子束直寫系統將於114年2月24日停止服務，進行設備下架；新設備預計於114年8月25日進行試運轉服務，敬請使用者提早規劃。
• 若有其他問題請洽負責工程師：鄭旭君先生(03-5773693分機7644)。